GaNターゲットGaNターゲットリンク集GaNターゲット窒化ガリウムスパッタリングターゲットを用いたSi基板上エピタキシャル成膜と評価（5.61MB）GaNターゲットスパッタリング法を用いた高品質窒化ガリウム膜の形成（5,34MB）製品情報へ戻る
